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DB HiTek推进全局快门和SPAD图像传感器业务
来源:MEMS  浏览次数:170  发布时间:2024-06-11

近期,韩国领先的专业晶圆代工厂DB HiTek正在加强其在汽车、工业、机器人和医疗领域应用广泛的全局快门和单光子雪崩二极管(SPAD)工艺技术,以拓展其专业图像传感器业务。


全局快门图像传感器可捕捉快速移动物体的图像而不会失真。机器视觉、汽车、无人机、机器人和医疗设备等多个领域对全域快门的需求正在迅速增长,预计2022年至2029年的年均市场增长率将达到16%。


DB HiTek的7 Tr电荷区全局快门采用光屏蔽和光导技术,在5.6 um像素下实现了PLS≥35,000,并支持各种尺寸,最小可达2.8 um像素(PLS≥10,000)。


寄生光敏度(PLS)是一个表示光敏感性的概念,PLS达到10000或更高时表明快门效率水平高得足以实现99.99%的光探测率(噪声发生率低于万分之一)。


DB HiTek的6 Tr电荷区全域快门可确保在2.8 μm像素、60C的条件下,PLS ≥10,000,存储暗电流≤20e/s。这项工艺预计将于今年年底完成,并提供给客户。


SPAD图像传感器可检测到单光子级别的微弱光信号,可进行远距离测量,是未来实现自动驾驶汽车、AR/VR设备、机器人和智能手机等先进技术的关键部件。


DB HiTek的第二代SPAD工艺在BSI结构中采用了背面散射技术(BST)和背面深沟槽隔离技术(BDTI),在波长为940 nm时,光子探测概率为15.8%,达到了先进的技术水平。此外,它还实现了相当于0.69 cps/μm²的暗电流速率(DCR)性能,相当于典型CMOS图像传感器的暗电流,从而提高了质量。


在升级版全局快门和第二代SPAD工艺上午基础上,DB HiTek计划积极支持无晶圆厂客户拓展专业图像传感器业务。


DB HiTek的一位主管表示:"目前,我们公司正与美国、欧洲、中国、日本等地区的全球领先公司合作开发产品。"他补充说:"我们计划通过提供定制工艺、用于像素开发模拟的TDK以及可以节省顾客费用的多层掩膜(MLM)等服务,来加强对客户的支持。"


与此同时,DB HiTek最近通过与欧洲一家领先的医疗传感器专业