2021年1月19日，苏州敏芯微电子技术股份有限公司（简称“敏芯股份”）发布公告，与苏州园丰资本管理有限公司（简称“园丰资本”）、中新苏州工业园区创业投资有限公司（简称“中新创投”）以及苏州纳米科技发展有限公司（简称“纳米公司”）经友好协商，签署了《战略合作协议书》，共同投资设立产业投资基金“MEMS研究院投资中心（有限合伙）”（暂命名）。

据披露，MEMS研究院投资中心（有限合伙）拟对外投资标的，将与纳米公司在江苏苏州工业园区共同投资设立“MEMS产业研究院有限公司”（暂命名）。标的公司将致力于MEMS新工艺、新产品的研发及中试平台的搭建，拟注册资本为人民币 3 亿元，其中，“MEMS研究院投资中心（有限合伙）”（暂命名）认缴出资总额为人民币2.99亿元，其中，敏芯股份拟以自有资金认缴0.9亿元。

敏芯股份表示，该协议的签订及实施将实现以MEMS产业研究院为载体，以MEMS新工艺、新产品及中试平台的研发为己任，通过不断整合和优化各类优质资源，加快科技成果转化与产业孵化，将与敏芯股份产生良好的协同发展效应，符合其整体的战略发展规划。